X-ray inspection method and apparatus

WO2018003018 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018003018
Aktenzeichen
EP16907251
Anmeldetag
28. Juni 2016
Veröffentlichung
4. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G01B15/00G01N23/04G01N23/083
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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