Method for manufacturing illuminance adjustment filter, illuminance adjustment filter, lighting optical system, and exposure device

WO2018003418 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018003418
Aktenzeichen
EP17819783
Anmeldetag
5. Juni 2017
Veröffentlichung
4. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G02B21/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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