Vibration suppression mechanism attached to charged particle beam device, and charged particle beam device

WO2018003494 Art A1 4. Januar 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018003494
Aktenzeichen: EP17819854
Anmeldetag: 14. Juni 2017
Veröffentlichung: 4. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/16F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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