Measurement system for determining a wavefront aberration

WO2018007008 Art A1 11. Januar 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018007008
Aktenzeichen: EP17751999
Anmeldetag: 5. Juli 2017
Veröffentlichung: 11. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/02G01J9/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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