Coating device and coating method

WO2018008324 Art A1 11. Januar 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018008324
Aktenzeichen: EP17823931
Anmeldetag: 8. Juni 2017
Veröffentlichung: 11. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05C5/02B05C11/10B05D1/26B05D7/00H01M4/88H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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