Starting material for metal carbide-containing thin film formation and method for producing metal carbide-containing thin film

WO2018008351 Art A1 11. Januar 2018

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018008351
Aktenzeichen: EP17823958
Anmeldetag: 15. Juni 2017
Veröffentlichung: 11. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/32H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Adeka Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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