Film-forming composition, film formation method, and directed self-assembly lithography process

WO2018008734 Art A1 11. Januar 2018

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018008734
Aktenzeichen: EP17824337
Anmeldetag: 6. Juli 2017
Veröffentlichung: 11. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C09D201/02C08F220/12H01L21/027H01L21/3065H01L21/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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