Method for utilizing ultraviolet oxidation in implementing and regulating graphene film patterning

WO2018010330 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Shanghai Jiao Tong University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018010330
Aktenzeichen: EP16908654
Anmeldetag: 18. Oktober 2016
Veröffentlichung: 18. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shanghai Jiao Tong University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Shanghai Jiao Tong University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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