Cyclic Error Measurements And Calibration Procedures in Interferometers

WO2018010961 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018010961
Aktenzeichen: EP17733844
Anmeldetag: 29. Juni 2017
Veröffentlichung: 18. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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