Charged particle beam device equipped with monochromator

WO2018011837 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018011837
Aktenzeichen: EP16908741
Anmeldetag: 11. Juli 2016
Veröffentlichung: 18. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/05H01J37/06H01J37/12H01J37/16H01J37/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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