Optical element angle adjustment device and extreme ultraviolet light generation device

WO2018011953 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018011953
Aktenzeichen: EP16908855
Anmeldetag: 14. Juli 2016
Veröffentlichung: 18. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/00G02B7/198G03F7/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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