Process for producing polishing composition, and polishing method

WO2018012175 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018012175
Aktenzeichen
EP17827307
Anmeldetag
12. Juni 2017
Veröffentlichung
18. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14B24B37/00C09G1/02H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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