Resist Underlayer Film Forming Composition Containing Compound Having Hydantoin Ring

WO2018012253 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Nissan Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018012253
Aktenzeichen
EP17827383
Anmeldetag
23. Juni 2017
Veröffentlichung
18. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/11C07C43/13C07D251/34C07D403/14C08L65/00G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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