Flow path structure and treatment device

WO2018012267 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018012267
Aktenzeichen
EP17827397
Anmeldetag
26. Juni 2017
Veröffentlichung
18. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/455H01L21/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Toshiba
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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