Wire saw device and method for cutting workpiece

WO2018012313 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018012313
Aktenzeichen
EP17827443
Anmeldetag
30. Juni 2017
Veröffentlichung
18. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B24B27/06B24B49/10B28D5/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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