Fluid device, method of manufacturing fluid device, and valve for fluid device

WO2018012429 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018012429
Aktenzeichen: EP17827557
Anmeldetag: 7. Juli 2017
Veröffentlichung: 18. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N35/08B01J19/00B81B3/00B81C3/00G01N37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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