Multi-layer coating with diffusion barrier layer and erosion resistant layer

WO2018013909 Art A1 18. Januar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018013909
Aktenzeichen
EP17828523
Anmeldetag
14. Juli 2017
Veröffentlichung
18. Januar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C28/04C23C16/34C23C16/40C23C16/455C23C16/56C23C14/06C23C14/08C23C14/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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