Method for evaluating carbon concentration in silicon sample, method for evaluating silicon wafer production process, method for manufacturing silicon wafer, method for manufacturing silicon single-crystal ingot, silicon single-crystal ingot, and silicon wafer

WO2018016237 Art A1 25. Januar 2018

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018016237
Aktenzeichen: EP17830757
Anmeldetag: 14. Juni 2017
Veröffentlichung: 25. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

658 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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