Electrostatic Chuck Heater

WO2018016384 Art A1 25. Januar 2018

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018016384
Aktenzeichen: EP17830903
Anmeldetag: 11. Juli 2017
Veröffentlichung: 25. Januar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/02H05B3/20H05B3/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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