Oxide sintered body, method for producing same, sputter target, and method for manufacturing semiconductor device

WO2018020719 Art A1 1. Februar 2018

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018020719
Aktenzeichen
EP17833730
Anmeldetag
28. Februar 2017
Veröffentlichung
1. Februar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C04B35/01C23C14/34H01L21/363H01L29/786
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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