Method for forming coating film, apparatus for forming coating film and computer-readable recording medium

WO2018020863 Art A1 1. Februar 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018020863
Aktenzeichen: EP17833873
Anmeldetag: 12. Juni 2017
Veröffentlichung: 1. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B05B7/04B05B7/16B05D1/02B05D3/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von