Pressure-type flow rate control device
WO2018021327
Art A1
1. Februar 2018
Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018021327
- Aktenzeichen
- EP17834329
- Anmeldetag
- 25. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 1. Februar 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G05D7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujikin Incorporated
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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