Simultaneous capturing of overlay signals from multiple targets

WO2018023078 Art A1 1. Februar 2018

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018023078
Aktenzeichen: EP17835390
Anmeldetag: 28. Juli 2017
Veröffentlichung: 1. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/47G01N21/95G01B11/00G02B27/28G02B27/42

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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