Methods&apparatus for obtaining diagnostic information, methods&apparatus for controlling an industrial process

WO2018024466 Art A1 8. Februar 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018024466
Aktenzeichen: EP17737295
Anmeldetag: 14. Juli 2017
Veröffentlichung: 8. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/66G06K9/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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