Measuring device, exposure device, and method for manufacturing article

WO2018025515 Art A1 8. Februar 2018

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018025515
Aktenzeichen
EP17836622
Anmeldetag
15. Juni 2017
Veröffentlichung
8. Februar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G01B11/02G01B11/06G01B11/30G03F9/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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