Semiconductor device, ph sensor, biosensor, and method for producing semiconductor device

WO2018025647 Art A1 8. Februar 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018025647
Aktenzeichen: EP17836753
Anmeldetag: 20. Juli 2017
Veröffentlichung: 8. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/786G01N27/414

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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