Curable composition for imprinting, cured object, pattern formation method, and lithography method

WO2018025739 Art A1 8. Februar 2018

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018025739
Aktenzeichen: EP17836845
Anmeldetag: 27. Juli 2017
Veröffentlichung: 8. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02C08F2/50C08F220/20C07C49/83C07C69/54C07F9/53

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

21.752 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Organische Chemie

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