Wafer-scale programmable films for semiconductor planarization and for imprint lithography

WO2018027073 Art A1 8. Februar 2018

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018027073
Aktenzeichen: EP17837719
Anmeldetag: 3. August 2017
Veröffentlichung: 8. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05D1/02B05D1/26B05D1/34B05D1/40B29C45/76B29C59/02B29C59/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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