Variable corrector of a wave front

WO2018028971 Art A1 15. Februar 2018

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018028971
Aktenzeichen: EP17742734
Anmeldetag: 21. Juli 2017
Veröffentlichung: 15. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/95G01N21/956G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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