Electron emitter and method of fabricating same

WO2018029018 Art A1 15. Februar 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018029018
Aktenzeichen: EP17754624
Anmeldetag: 31. Juli 2017
Veröffentlichung: 15. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J9/02H01J1/14H01J1/304H01J37/06H01J37/065H01J37/073

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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