Film formation method and film formation apparatus

WO2018030256 Art A1 15. Februar 2018

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018030256
Aktenzeichen: EP17839327
Anmeldetag: 3. August 2017
Veröffentlichung: 15. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05C5/00B05C11/10B05D1/26B05D3/00B41J2/01G06F3/041H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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