Thermally Optimized Rings

WO2018031200 Art A1 15. Februar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018031200
Aktenzeichen
EP17839989
Anmeldetag
18. Juli 2017
Veröffentlichung
15. Februar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/32C23C14/56C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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