System and method for generating multi-channel tunable illumination from a broadband source

WO2018034908 Art A1 22. Februar 2018

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018034908
Aktenzeichen: EP17841875
Anmeldetag: 9. August 2017
Veröffentlichung: 22. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/31G02B27/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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