Alloys of co to reduce stress

WO2018034936 Art A1 22. Februar 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018034936
Aktenzeichen
EP17755379
Anmeldetag
10. August 2017
Veröffentlichung
22. Februar 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/02C23C16/18C23C16/30C22C19/07C07F15/06
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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