Temperature sensor for end point detection during plasma enhanced chemical vapor deposition chamber clean

WO2018035418 Art A1 22. Februar 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018035418
Aktenzeichen: EP17842183
Anmeldetag: 18. August 2017
Veröffentlichung: 22. Februar 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/52C23C16/50C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von