Online measurement method and measurement apparatus for residual stress of conductive thin-film material

WO2018035964 Art A1 1. März 2018

Anmelder: Southeast University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018035964
Aktenzeichen
EP16913984
Anmeldetag
1. November 2016
Veröffentlichung
1. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G01L5/00G01N3/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Southeast University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Southeast University

Chinesische Universität mit Sitz in Nanjing, Schwerpunkt auf Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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