Method for manufacturing epitaxial silicon wafer, epitaxial silicon wafer, and method for manufacturing solid-state image pickup element
WO2018037626
Art A1
1. März 2018
Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018037626
- Aktenzeichen
- EP17843115
- Anmeldetag
- 25. April 2017
- Veröffentlichung
- 1. März 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/322H01L21/20H01L21/205H01L21/265H01L27/146
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SUMCO Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumco
Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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