Catalyst carrying amount measurement device, application system, and catalyst carrying amount measurement method

WO2018037657 Art A1 1. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018037657
Aktenzeichen: EP17843145
Anmeldetag: 31. Mai 2017
Veröffentlichung: 1. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01M4/86B01J37/02G01N21/3586H01M4/88H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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