Coating apparatus and coating method

WO2018037670 Art A1 1. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018037670
Aktenzeichen: EP17843158
Anmeldetag: 8. Juni 2017
Veröffentlichung: 1. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: B05C5/02B05C9/14B05C11/00B05D1/26B05D3/02B05D7/00H01M4/88H01M8/02H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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