System for parallel data processing with multi-layer workload management

WO2018041696 Art A1 8. März 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018041696
Aktenzeichen
EP17761212
Anmeldetag
24. August 2017
Veröffentlichung
8. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G06F9/50H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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