Image measurement method, image measurement program, image measurement device, and article production method

WO2018042580 Art A1 8. März 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018042580
Aktenzeichen: EP16915141
Anmeldetag: 31. August 2016
Veröffentlichung: 8. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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