Substrate inspection device, substrate treatment device, substrate inspection method, and substrate treatment method

WO2018042743 Art A1 8. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018042743
Aktenzeichen: EP17845754
Anmeldetag: 3. April 2017
Veröffentlichung: 8. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G01N21/956H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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