Illuminating optical system, lithography device, and article manufacturing method

WO2018043423 Art A1 8. März 2018

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018043423
Aktenzeichen: EP17846428
Anmeldetag: 28. August 2017
Veröffentlichung: 8. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/00G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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