Processing liquid, substrate cleaning method, and method for producing semiconductor devices

WO2018043440 Art A1 8. März 2018

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018043440
Aktenzeichen
EP17846445
Anmeldetag
29. August 2017
Veröffentlichung
8. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D7/26C11D7/32C11D7/34C11D7/36C11D7/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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