Processing liquid, substrate cleaning method, and method for producing semiconductor devices
WO2018043440
Art A1
8. März 2018
Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018043440
- Aktenzeichen
- EP17846445
- Anmeldetag
- 29. August 2017
- Veröffentlichung
- 8. März 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304C11D7/26C11D7/32C11D7/34C11D7/36C11D7/50
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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