Adjusting an amount of coherence of a light beam

WO2018044583 Art A1 8. März 2018

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018044583
Aktenzeichen: EP17847213
Anmeldetag: 17. August 2017
Veröffentlichung: 8. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01J3/02G01J3/10G01J3/12H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von