Belichtungsvorrichtung und Belichtungsdatenstruktur

WO2018047411 Art A1 15. März 2018

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018047411
Aktenzeichen
EP17780615
Anmeldetag
12. Mai 2017
Veröffentlichung
15. März 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Advantest Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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