Coating device and film recovery method

WO2018047427 Art A1 15. März 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018047427
Aktenzeichen: EP17848372
Anmeldetag: 8. Juni 2017
Veröffentlichung: 15. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01M4/88B05C5/02B05C13/02B29C65/50B65H19/18H01M8/02H01M8/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

854 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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