Flow channel structure and processing apparatus

WO2018047440 Art A1 15. März 2018

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018047440
Aktenzeichen: EP17848385
Anmeldetag: 26. Juni 2017
Veröffentlichung: 15. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Toshiba
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

13.649 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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