Group 4 transition metal-containing film forming compositions for vapor deposition of group 4 transition metal-containing films

WO2018048480 Art A1 15. März 2018

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018048480
Aktenzeichen: EP17849231
Anmeldetag: 10. April 2017
Veröffentlichung: 15. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/18C23C16/50C07F7/28H01L49/02H01L27/108

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von