Method for lithographic patterning of sensitive materials

WO2018048742 Art A1 15. März 2018

Anmelder: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018048742
Aktenzeichen: EP17768564
Anmeldetag: 1. September 2017
Veröffentlichung: 15. März 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/00G03F7/00H01L51/05

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Board of Trustees of the Leland Stanford Junior University

Rechtsträger der US-amerikanischen Stanford University in Kalifornien, der als Anmelder der zahlreichen Patente aus der Universitätsforschung fungiert. Schwerpunkte liegen unter anderem in Biotechnologie, Informatik und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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